铜线对比与铝线的优势

 正据美国 Physics Today,1999,52:9报道,美国劳伦斯伯克利国家实验室的科学家蒙蒂罗(O.Monteiro),成功地在集成电路上沉积了铜线,这有利于集成电路的更加小型化和低能耗化。集成电路中成千上万的晶体管是通过导线连接的,而这些导线是在预先刻蚀好的槽中沉积金属铝得到的。与铝相比,铜的优点是更低的电阻率,这使导线更精细化,进而使集成电路更小型化。